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工艺整合研发高级专家工程师(J14434)
YMTC (Yangtze Memory) · 湖北省·武汉市
About The Role
- 1.工艺平台研发与优化:搭建先进的存储阵列工艺平台,确定从Cell到周边电路的完整工艺流程,负责新项目技术评估、新技术开发与量产导入。
- 2.良率提升(Yield Enhancement):针对晶圆测试中的电性异常(如WAT异常),通过分析数据,追溯生产线工序,查找缺陷根源,制定解决方案以提升良率。
- 3.实验设计与数据分析(DOE & Data Analysis):设计试验方案,通过调整薄膜、蚀刻、光刻等工艺参数,优化工艺窗口(Process Window),满足产品性能指标。
- 4.工艺整合与集成:管理上千种不同制程的整合,确保各制造模块协作,解决交叉技术难题。
- 5.设计与制造的桥梁:检查版图设计规则(DRC),参与测试结构(Test Vehicle)的定义和Tapeout,推动产品通过认证。
- 1.教育背景: 微电子、集成电路、物理、材料科学等理工科相关专业,硕士或博士学位。
- 2.工作经验: 3-5年以上半导体制造业(Fab)经验,有存储相关Fab 经验尤佳。
- 3.专业知识:熟悉工艺基础及主流制程(如FinFET, 关键光刻、蚀刻、沉积工艺)。了解存储阵列架构(如Cell, Peripheral circuit)及器件特性。掌握WAT电性能分析、良率提升技术和失效分析(FA)方法。
- 4.关键技能: 熟练使用数据分析软件(如JMP, Spotfire)进行良率分析。 具备快速找出缺陷(Defect)根因并制定改善措施(MRB/DRB)的能力。熟悉EDA工具(Spectre, Virtuoso等)及Perl/Python等数据处理语言。
- 5.能力素质: 较强的团队合作、跨部门沟通协调能力(与PE, EE, Design, TD团队协作)、文档编写能力。
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