About The Role

1.先进存储器的RET/OPC解决方案探索与开发；
2.OPC建模解决方案开发，包括相关的测试图形设计与选择、数据收集与清洗、OPC建模及追踪等工作；
3.OPC脚本开发与维护，包括独立或在RET工程师协助下完成OPC修正规则设计与调试、OPC及其验证脚本各模块撰写与调试、OPC及其验证脚本维护与简化等工作；
4.OPC及其建模流程的自动化、智能化开发与维护。
1.熟练使用Synopsys/Mentor/Brion/全芯智造/华芯程/东方晶源等主流OPC相关EDA软件之一。
2.熟悉先进节点集成电路成套工艺开发中涉及到的OPC方法如OPC modeling, rule-based OPC, model-based OPC, PWOPC, SRAR/SRIF, OPC verification, DRC, DFM等。
3.深入理解光刻成像原理，分辨率增强技术(RET)原理，光刻工艺原理，SEM量测原理，OPC/RET在光刻成像中的作用与影响。
4.深入理解光刻工艺流程，CDSEM量测工具，版图设计，出版(tape-out)流程；
5.熟悉版图设计和半导体制造的基本流程。

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OPC研发工程师(J14477)