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研发量测专家-TD Metrology Expert(J10241)
ChangXin Memory (CXMT) · 安徽省·合肥市
About The Role
- 1.熟悉光刻工艺流程,熟悉光刻相关overlay control原理;
- 2.熟悉APC/R2R 原理;
- 3.熟悉IBO/DBO Mark设计及评估,了解光源信息,了解OPC相关知识;
- 4.熟练setup A750 OVL recipe 并进行ARO 对recipe进行verification;
- 5.熟练使用EDA 软件进行DB output, 了解DRC;
- 6.熟练运用MSA 手段对量测结果进行验证;
- 7.熟练setup CDSEM recipe(AMAT/HITACHI);
- 8.PFA/TEM 实验申请及报告解读;
- 9.在线量测异常(如:生产线突发异常,SPC报表异常等)诊断;
- 10.熟悉统计学基本原理。
- 1.5年以上半导体量测研发相关经验;
- 2.硕士及以上学历,工学,化学,物理,材料,半导体器件,微电子等专业背景;
- 3.量测机台Recipe setup经验,有OVL/CD recipe setup经验这优先;
- 4.熟悉MSA方法,了解DRAM工艺优先。
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