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蚀刻工艺研发经理-TD Etch Process Manager(J19284)

ChangXin Memory (CXMT) · 安徽省·合肥市, 北京市

External listingFull-timeabout 2 months ago

About The Role

  1. 与制定公司级新工艺模组的技术发展路线图,明确干法刻蚀(如侧墙、高介电质段RMG loop、外延刻蚀等)的技术方向与年度研发计划。主导新制程的工艺指标定义、流程整合及单项工艺调试,确保技术可落地、可复制;
  2. 负责刻蚀工艺异常分析与根本原因排查,优化菜单参数、提升均匀性和选择比,减少缺陷密度,持续提高产品良率与可靠性。建立SPC监控体系,维护工艺长期稳定性,支持大规模量产需求;
  3. 优化工艺流程,降低生产周期与材料消耗,提升产能利用率。推动“降本增效”项目,如蚀刻液配方优化、设备稼动率提升等,增强产线竞争力;
  4. 负责部门梯队建设,制定培训计划,指导工程师成长,提升团队整体技术水平与问题解决能力。建立知识传承机制,形成标准化经验文档,避免技术断层。
  • 1.硕士研究生以上学历,理工科背景,物理/化学/微电子/材料等理工专业;
  • 2.10年以上12寸半导体刻蚀工艺研发相关经验,10人以上团队管理经验优先;
  • 3.掌握各Dry Etch工艺特点,熟悉及深入了解蚀刻相关半导体制程与设备相关知识;
  • 4.具备跨部门多方面协作能力;
  • 5.具有SADP/SAQP/SARP/HAR process经验优先。

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