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光刻工艺工程师-Litho Process Engineer(J19364)
ChangXin Memory (CXMT) · 安徽省·合肥市
About The Role
- 1.工艺体系建立与维护:主导KrF Scanner的工艺开发与日常维护,建立并持续优化稳定的光刻工艺体系;
- 2.参数优化与良率提升:开展DOE验证,系统优化曝光参数,解决线宽控制、套刻精度等工艺异常,推动良率持续提升;
- 3.新机台工艺导入与整合:主导新机台的工艺导入与验收,完成与现有机台的工艺匹配与整合;
- 4.标准制定与监控预警:制定工艺标准作业程序(SOP),建立工艺监控与预警机制;
- 5.知识沉淀与团队赋能:沉淀技术文档与工艺Know-How,牵头培训内部团队。
- 1.教育背景与专业知识:本科及以上学历,微电子、材料、光学、化学等相关专业;
- 2.行业与专业经验:具有2年以上Scanner工艺开发或维护经验,熟悉Recipe建立及工艺窗口分析方法;
- 3.项目/任务成果:主导过至少2个工艺优化或新机台导入项目,并成功达成良率或工艺窗口目标;
- 4.其他要求:具有系统性数据分析与问题闭环能力,能独立开展DOE并输出结论。
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