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量测工艺专家-Metrology Process Staff Specialist(J19842)
ChangXin Memory (CXMT) · 北京市
About The Role
- 疑难杂症解决:主导解决线上量测模块的疑难问题,覆盖Hitachi CDSEM、AMAT CDSEM、AMAT PV2E、Hitachi CV6300、KLA IBO OVL、ASML DBO OVL等机台;
- Recipe建构与在线故障排除:精通Recipe建构与设定,主导inline trouble shooting,确保量测条件满足工艺需求;
- 在线量测异常诊断与排除:在线诊断并排除量测异常事件(如生产线突发异常、SPC报表异常等),保障产线正常运行;
- 机台稳定度与可靠度优化:维护并优化量测机台的稳定度与可靠度,降低停机时间并提升数据准确性;
- MSA系统操作与稽核:操作MSA系统并完成相关稽核作业,确保量测系统符合质量要求;
- 实验资料搜集与判读:执行实验资料的系统搜集与判读,为工艺调整提供数据支撑;
- PFA/TEM实验申请与报告判读:提交PFA/TEM实验申请并完成分析报告的判读,支撑失效分析与工艺改善。
- 教育背景与专业知识:本科及以上学历,微电子、物理、材料、化学或理工类相关专业;
- 行业与专业经验:半导体产业工作经验6年以上,集中在Hitachi CDSEM、AMAT CDSEM、AMAT PV2E、Hitachi CV6300 HVSEM量测模块者优先(任意机型专精经验5年以上),或KLA IBO OVL、ASML DBO OVL量测模块者优先(OVL专精经验5年以上);
- 专业技能与资格:熟悉MSA系统、SPC与稽核流程,能独立完成量测系统分析与优化。
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