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光刻工艺研发经理-TD LITHO Process Manager(J14077)
ChangXin Memory (CXMT) · 北京市
About The Role
- 工艺研发与迭代优化:主导DUV光刻、多重曝光、套刻精度控制等光刻工艺的研发,制定工艺节点迭代计划并推动技术升级;
- 技术攻关与良率提升:分析光刻制程中的缺陷、套刻误差、CD均匀性等技术问题,提出并实施解决方案,提升产品良率与工艺稳定性;
- 仿真分析与工艺优化:运用OPC、SMO等仿真工具,结合SPC与CD-SEM数据分析,优化工艺参数,提升工艺能力与窗口;
- 项目管理与技术转移:主导研发项目,制定技术路线图,协调设备、整合、制程、良率等跨部门团队,推动技术从研发到量产的转化;
- 团队建设与知识输出:管理光刻研发团队,培养核心人才,撰写技术专利与论文,组织参与行业技术交流,推动技术积累与创新。
- 教育背景与专业知识:硕士及以上学历,理工科背景;
- 专业技能与资格:能使用OPC、SMO等光刻仿真工具完成工艺参数分析与优化,能使用JMP、MATLAB或Python完成SPC与CD-SEM数据分析;
- 行业与专业经验:具有15年以上12寸半导体光刻制程或研发工作经验,有光刻工艺研发经验者优先;
- 项目/任务成果:领导过30人以上技术团队,具有5年以上部门管理经验,主导过至少一项光刻工艺从研发到量产的转化项目;
- 其他要求:具有良好的英语听说读写能力,CET-6或同等外语水平,能在技术文档编写与国际交流中使用英语。
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