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光刻设备研发专家-TD Scanner Equipment Expert(J20187)
ChangXin Memory (CXMT) · 安徽省·合肥市
About The Role
- 工艺与设备研发: 主导Scanner相关工艺及设备研发工作,评估国内外主流Scanner工艺与设备技术路线,制定并执行研发方案;
- 跨部门协同与问题闭环: 掌握Scanner工艺特点,深入了解Scanner相关工艺与设备知识,协同团队成员及跨部门团队识别并解决技术难题,推动问题闭环。
- 熟悉各厂商光刻机设备结构及工作原理,包括ASML、Canon、Nikon等;
- 熟悉光刻机Scanner对准系统原理及其零部件,熟悉高精度运动平台原理及其零部件;
- 对现有的设备提出或者参与改造以达成特定目标,定期组织和厂商技术交流,掌握业界设备最新的信息;
- 与多部门合作,从设备、工艺、量测角度解决半导体先进工艺面临的对准和OVL套刻挑战;
- 提出创新工艺的方法,制定落地计划并验证实施。
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